
1. 안녕하십니까 임종혁 박사님. 먼저 박사님 스스로를 소개 한번 해줄 수 있을까요?
안녕하세요. 임종혁입니다. 저는 GIST 전기전자컴퓨터공학부 현 지능형반도체연구실에서 박사 학위를 취득했으며, 박사 과정에서는 초고속 펨토초 레이저와 광학 시스템을 활용한 테라헤르츠(THz) 분광기(spectroscopy) 및 반도체 소자 기반 THz 전자기파 변조(modulation) 연구를 수행했습니다. 현재는 ASML에서Applications Engineering Team Leader로 근무하며, YieldStar Metrology 평가 기반으로 고객사의 노드 전환, 새로운 장비 및 어플리케이션 성능 향상 프로젝트를 리딩하고 있습니다.
2. 박사님은 주로 어떤 연구를 많이 하셨나요?
박사 과정 동안 펨토초 레이저와 광학 시스템을 활용한 THz 분광기 시스템을 개발하고, 반도체 소자를 기반으로 THz 전자기파 파장의 편광(polarization), 위상(phase), 방향성(direction)을 제어하는 연구를 진행했습니다. 특히, InAs 기반 구조와 나노와이어(nanowire) 기반 다이오드(diode)를 활용한 THz 방출 특성 제어, 금속-그래파이트(Graphite) 구조에서의 일함수(Work Function) engineering을 통한 THz 파동 조작 등 다양한 연구를 수행했습니다.
박사 과정 이후에는 ASML에서 고객사와 협업하며, 반도체 제조 공정에서 overlay 측정 및 극자외선 리소그래피(EUV lithography)의 focus control을 위한 고정밀 광학 계측 기술 개발을 수행하였습니다. 자세하게는 멀티파장 회절 기반 overlay 측정, 회절 기반 초점의 변화 측정, overlay key asymmetry 측정 오차 최소화 기술 개발 등 협업 연구를 수행했습니다.
3. 연구 중 보람을 느꼈던 경험?
광학 실험을 통해 새로운 물리 현상을 규명하고, 그 선행 연구결과를 SCI 저널과 국제 학회에서 발표했을 때 큰 보람을 느꼈습니다. 그리고 관련 결과가 향후 실제 사람들의 삶에 긍정적인 영향과 발전에 기여할 수 있다는 부분에도 보람을 느꼈습니다.
졸업 후 연구 수행한 부분으로는 해당 연구 결과를 통해, 반도체 분야의 연구기술 및 비니지스 개발, 우리 사회에 큰 영향을 미치고 있는 로직 회로나 반도체 메모리 소자 분야의 overlay 계측 및 패터닝 발전에 기여한 부분으로 보람을 느끼고 있습니다.
4. 연구 과정에서 스트레스를 해소한 경험?
연구 과정에서 스트레스가 쌓일 때는 가족과 함께 GIST 캠퍼스를 산책하거나, 광주 근교 및 전남 지역을 여행하며 재충전했습니다. 또한 연구실 동료들과 운동을 하거나 헬스장에서 운동하는 시간을 통해 균형을 유지했습니다. 이런 활동은 집중력 유지와 지속적인 동기 부여에 큰 도움이 되었습니다.
5. 박사 졸업 이후 어떤 일들을 해오셨으며, 현재 하고 계신 일은?
박사 졸업 후 짧게 박사후연구원을 하며 연구를 마무리한 뒤, ASML에 입사했습니다. 초기에는 Application Engineer로서 새로운 장비를 양산 고객사에서 평가하고, 로직 소자의 on-product 데이터 계측 및 분석을 통해 고객에게 최적의 솔루션을 제공했습니다. 또한 글로벌 팀과 협업하여 기술 전략을 서로 공유하고, 평가 프로젝트를 리딩하며 효율적이고 최적인 공정을 정립하는 데 기여했습니다.
이후 senior team leader로서 로직 및 메모리 고객사의 노드 전환 및 새로운 장비와 애플리케이션 평가를 주도하며, 고객의 공정 요구사항을 반영해 Pathfinding/D&E/Product 팀과 협업하여 새로운 계측 장비의 애플리케이션과KPI(key performance indicator)를 개발하고 제품화하는 역할을 하고 있습니다.
6. 앞으로의 목표?
계측 뿐만 아니라 반도체 노광 장비를 활용한 고객의 노드 전환 및 새로운 장비 평가 지원 관련 전문성을 더욱 강화하고, technology leadership뿐 아니라 people Leadership과 비즈니스 역량을 함께 성장시키는 것이 목표입니다. 특히, 팀원들과 협업하며 팀의 역량을 개발하고, 글로벌 협업을 통해 조직의 성과를 극대화하는 리더가 되고자 합니다.
7. 꼭 하고 싶은 말이 있다면?
저도 그랬지만 지금 집중하고 계시는 연구나 졸업에 대한 어려움 등을 다양하게 느끼고 계실 것으로 생각됩니다. 드리고 싶은 말씀은 우리의 삶을 볼 때 단기간의 연구나 졸업도 물론 중요하지만, 장기적으로 본인이 생각하시는 가치 및 가치관에 짧은 시간이더라도 지속적으로 투자하시길 바라봅니다.
그리고 앞으로 가치있고 복잡한 연구를 하시는데, 연구 및 업무에서 팀으로 일하기 위한 스킬과 마인드셋, 그리고 신뢰를 쌓는 방법이 중요하다고 생각합니다. 서로 다른 가치와 관점을 존중하며 협업할 때 더 건설적인 팀워크를 만들 수 있고, 그런 리더십을 갖춘 사람이 된다면 본인의 연구 분야 및 다양화 되어가는 사회에서 역량을 충분히 발휘할 수 있을 것으로 생각합니다.
